質量流量調節器 MFC 2222

ガス用コンパクトアナログ

超コンパクトサイズ 高速応答時間 優れた再現性と精度 高いターンダウン比 >1000:1 高い長期安定性 Axetris マスフローメータ OEM モジュール（MFM）は、お客様に卓越した価値を提供します。プラチナベースのMEMSチップ技術は、全流量範囲に わたって優れた安定性と再現性を保証します。MEMS テクノロジーの高速性とスマートなソフトウ ェア処理、そして高剛性で堅牢なパッケージングを組み合わせた MFM シリーズは、小型、高安定性、高速応答時間を必要とするア プリケーションに最適です。 本製品は現在、RS232TTLまたはEIA、RS485半二重または全二重、アナログ信号（0-5Vまたは4-20mA）での通信が可能です。 - 定期的な再校正が不要な高い測定精度 - 設置面積が小さく、統合が容易 - お客様のニーズに対応