熱式質量流量計 CMS

質量ガス用インライン

高性能・高レンジ能力ガス流量計。 説明 CMSシリーズのガス質量流量計は、当社独自の熱流量センサをセンシング素子として採用しています。マイクロマシニング技術と高度な超微細チャネル設計により製造された超小型質量流量センサの統合により、これまでにない高い精度と広い測定範囲を低コストで実現しました。 使いやすさと高い信頼性を誇るこれらの流量計は、将来の標準を打ち立てます。 シリコンマイクロマシニングと薄膜技術で製造されたこの熱式流量センサは、わずか1,7 mm²と0.5 mm厚です。 超精密加工技術を使用することで、エレメントレイアウトや熱容量の変動を最小限に抑えることができます。センサチップレベルで流速1mm/sの高分解能、約2msという高速応答を実現しています。 ガス流が存在しない場合、ヒーター周辺の温度分布は対称である。気体がRuからRdに流れ始めると、Ru上流での温度は低下し始め、Rd下流での温度は上昇するため、温度分布の対称性に歪みが生じる。 このRuとRdの間の温度差は、質量速度（速度 x 密度）の計算に使用されます。