質量流量センサー MCS200

密度エアコンパクト

MCS200シリーズのコンパクトなエアマスフローセンサは、大気流量を測定する大気分析装置や窒素流量を測定するガスアナライザとともに使用することができ、微小な電子部品の真空吸引を確認するために使用することができます。 MCS100シリーズと比較して、これらのセンサは小型で軽量です。 配管への接続はマニホールドを介して行われます。 概要 MCS200は、Azbil 独自の質量流量計センサチップを搭載した、コンパクトで高速応答エア/窒素マスフローセンサです。 MCS200は、温度や圧力補償を必要とせずに、標準条件（20 ℃、1 気圧）に変換された流量を出力します。 MCS200は広い範囲と様々な流量範囲を提供します。 この製品は、数多くの科学的および産業用途での流量測定に最適です。 特長 コンパクトで軽量な SおよびLタイプ：28,2 x 10,0 x 12,1 mm（取り付けタブとコネクタソケットを含む）、わずか5 g。 Rタイプ：28,2 x 10,0 x 11,8 mm（取り付けタブとコネクタソケット を含む）、わずか5 g。 マニホールド取付 高速応答時間：最大 5ミリ秒 高精度 SおよびLタイプ：+ /-3% FS Rタイプ：+ /-5% FS 正または負の流量を測定（Rタイプのみ） 低消費電力