熱式質量流量センサー MCS100

質量エアインライン

MCS100シリーズの空気質量流量センサは、各種物理科学機器の空気流量測定や、微小電子部品の真空吸引確認に適しています。 特長 *-Azbil独自技術の質量流量計センサによる5ms高速応答 *-標準圧力センサと比較すると、ピックアップ状態と非ピックアップ状態の間でより大きな出力差を確保できる *-小型軽量で流量センサを搭載可能ノズルのすぐ上でも（ノズルとエジェクタ間のエアチューブに直接取り付け）、ピックアップの高応答性を実現 *-圧力センサーのような吸引圧変動の影響を受けない、MCS独自の流量測定システムにより、正確な検出が保証されます。は *-ピックアップノズルを変えてもアナログ出力信号のため、コントローラ側でシングルセットアップ制御が可能。フィルタの目詰まりやノズル変形を非ピックアップ状態で検出 可能 ※・取付工程におけるチップのピックアップとブリングバック両方を検出可能