キャパシタンスダイアフラム真空計 SPG

デジタルアナログディスプレイなし

SPG5A-6Aは、サファイア式静電容量圧力センサを採用し、高精度・高信頼性、小型・軽量を実現した静電容量ダイヤフラム真空計です。自己発熱モデルおよび非自己発熱モデルが利用可能です。SPG5A/6Aは、半導体製造に特に適しています。 特長 *-単結晶サファイアを使用し、耐食性、高温 性に優れ、耐食性、耐熱性の単結晶サファイア圧力センシング材料も優れた機械的特性を持っています。静電容量測定は高温使用時でも高い再現性 *-高精度測定 高度な信号処理技術により、優れた温度特性と直線性に貢献 *-小型・軽量、 小型・軽量、マイクロマシニング技術 *-高速ウォームアップ時間と安定したセンサ温度制御 マイクロプロセッサベースのデジタルPID制御により、高速ウォームアップと安定したセンサ温度（自己加熱モデル）を提供します。