- 検出・測定
- レベル計･圧力測定･流量測定
- 熱式質量流量計
- Azbil North America
熱式質量流量計 CMS series質量ガス用インライン
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特徴
- 技術
- 熱式質量
- タイプ
- 質量
- 流体
- ガス用
- 設置
- インライン
- 応用
- 高出力用
- 体積流量
最大: 2,000 l/min
(528.3441 us gal/min)最少: 10 l/min
(2.6417 us gal/min)- 耐圧力
最大: 1,000,000 Pa
(145.04 psi)最少: -70,000 Pa
(-10.15 psi)
詳細
「 記述
Hydogen \ /HeliumのためのCMSシリーズ ガスのマス フローのメートル
概観
CMSは感知要素としてYamatakeのµF （MicroFlow）センサーを使用する信頼性が高いガスのマス フローのメートルである。µFセンサーは超低い流動度の測定のcpable MEMSの熱固まり流れセンサーである。µFセンサーおよび高度のチャンネル・デザインの技術の統合は低いcost. \ /htmlで達成した高精度で、高いrangeabilityを」
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