熱式質量流量調節器 MPCガス用パネル取り付け
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特徴
- 技術
- 熱式質量
- 流体
- ガス用
- その他の特徴
- パネル取り付け
- 流量
最大: 20 l/min
(5.28344 us gal/min)最少: 1 l/min
(0.26417 us gal/min)- 圧力
最大: 300,000 Pa
(43.5 psi)最少: 50,000 Pa
(7.3 psi)
詳細
「 記述
MPCのパネルの台紙のマス フローのコントローラー
概観
MPCはYamatakeの専有技術を利用する超高速の応答の流動度センサーである。MicroFlowセンサーの、ultra-compact比例した電磁弁統合によって、新しい流路システムおよび先回り制御の技術、Yamatakeは制御panel. \ /htmlの全部から」取付けることができるマス フローのコントローラーを開発した
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