デジタルマスフローコントローラ 形 MQV□□□□ は、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「マイクロフロー™」を使用し、「比例ソレノイドバルブ」と高度なアクチュエータ制御技術を融合した高性能デジタルマスフローコントローラです。 高速制御・広い制御範囲等の要求を実現した高性能な一般産業市場向けコントローラです。
300 ms の高速制御性の実現
100:1の広い制御範囲において、「全閉から設定流量」「設定値変更」いずれにおいても抜群の高速制御性を発揮します。
低差圧での動作を実現
形 MQV□□□□は圧力損失が小さのストレート流路構造です。 圧力損失の大きなキャピラリを使用しないため低差圧での制御が可能です。
幅広い製品ラインナップ
一体形表示モデル・分離形表示モデルを設置場所に応じて選択できます。 また、5ml/minの微小流量から、500L/minの大流量まで幅広い機種をラインナップしています
PC ローダ通信に対応
PCローダソフトを使用することで、PCを利用しての設定パラメータの保存に加えて、 形 MQV□□□□の状態をモニタ/操作、流量などのトレンドデータをモニタ/保存することが可能です。
DC24V電源対応・ACアダプタ対応
入手の容易なDC24V電源に対応していますので、マスフローコントローラで一般的に使用される専用±15V電源は不要です。また、専用ACアダプタを使用するとコンセントから電源を供給も可能です。
アプリケーション
熱処理炉の炉内雰囲気制御
炉内の雰囲気を制御するために、炉内へガスを供給します。 熱処理炉の周辺は温度変化が大きく 形 MQV□□□□の広い使用温度範囲が貢献します。