熱式質量流量センサー MCS100

質量エア酸素

形 MCS100は、数百万台の出荷実績を有する独自のMEMSセンサを搭載した高速応答、小型・ 軽量のマスフローセンサです。 熱式MEMSセンサと低圧損の流路を組み合わせ、数mL/minから10L/minまでの気体質量流量を 5msの高速レスポンスにて計測します。 質量流量計側 流体の温度・圧力に関わらず、温度補正・圧力補正を行わずに、標準状態（20℃、1気圧）に換算した流量値を出力します。 ⇒　流体温度や圧力が頻繁に変化する使用条件、および使用場所の標高が定められない装置への搭載に好適 小型・軽量 設置場所を選びません(33.5 x 10.5 x 17.0 mm, 9g) ⇒　設置スペースが限られている機器への搭載に好適 5msの超高速応答 ⇒　僅かな流量の差異や変化を検出可能であり、高速タクトのアプリケーションでの流量計測に好適 正逆両方向計測 ⇒　流れ方向の検知、流れ方向が変わる計装に好適 低消費電力（24Vdc駆動時に12mA max.） ⇒　バッテリー駆動のハンドキャリー機器への搭載に好適 - 設置姿勢自由、前後の直管不要 ⇒　実験室や様々な産業アプリケーションにおける簡易的な流量計測用途に好適