液体用流量計 F7M90 series

横型縦型耐腐食性

本製品は、熱MEMSセンサーと高耐食性石英ガラス流路を組み合わせることで、従来の測定方法では困難であった50mL/min以下の微少流量の液体流量を高い再現性で測定することが可能です。 製品開発は、流体の状態変化（気泡、脈動、流体温度変化など）の影響を受けにくい測定方法を採用し、測定流体の補正機能（流体の熱伝導率による補正）を使いやすくすることをコンセプトとした。 従来の方法（ポンプの回転数測定、重量測定、流体供給時間管理など）に代わり、瞬時流量、積算流量を測定することで、測定値に基づく確実な品質管理、プロセスの異常検知に貢献します。 MEMSセンシング技術による熱流体計測原理を採用。 従来困難であった50mL/min以下の微小流量の液体測定が可能です。 (測定範囲：0.1～10mL/min、0.3～30mL/min、0.5～50mL/min）。 小型・軽量・簡単設置 従来品に比べ、より小型・軽量化を実現しました。 同梱の取付金具を使用することで、平面への設置（横型配管接続用）が容易に行えます。 また、縦配管にも対応します。 別途コンバーター（アンプ）は必要ありません。 直線的な流路 直線的な流路のため、圧力損失が少なく、液溜まりがないため洗浄が容易です。 フレキシブルな設置、幅広い流体に対応