窒化ケイ素製のチップヒーターは通常長方形です。当社のダイ直径400mmまでの様々な寸法とバッチサイズが製造可能です。セラミックの特殊な特性と低質量により、高速加熱、均一な温度分布、高い制御精度が可能になります。小型の発熱体は、短いサイクルタイムで非常に高い表面出力で制御運転することができます。金属と比較すると、セラミックの表面は、温度が変化しても熱膨張が少ないため、非常に滑らかな状態を保ちます。ホットプレスされた窒化ケイ素の高い強度は、高い応力耐性(高圧負荷など)と優れた耐摩耗性を保証します。当社では、最高温度500 °Cの屋外運転用小型ヒーターと、最高温度1,000 °Cのコールドエリア付きヒーターを提供しています。
カスタマイズ設計
当社の自社設計により、サイズ、構成、性能の変更は簡単で便利です。温度センサーや吸引パイプ用の取り付けブラケット穴やボアを設けることができます。レーザーカット真空溝も追加できます。当社のチップヒーターはすでに平坦に研磨されていますが、特定の要件に合わせて平坦度10μm未満まで研磨することができます。加熱する素子の輪郭に合わせたさまざまな形状も可能です。点状(ポイントヒーター)、または平坦に突出した形状も可能です。そのため、1 mm2 未満の加熱領域も可能です。ミニチュアヒーターは、低電圧で動作するように変換できます。
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