窒化ケイ素製のセラミック・ホットプレートは、外径400 mmで製造可能です。この直径の範囲内であれば、どんな長方形、特注形状、開口部も可能です。プレートの一般的な高さは5mmです。セラミック材料の特殊な特性と低質量により、速い加熱速度、均一な温度分布、卓越した制御精度が可能になります。金属に比べ、セラミック素材は熱膨張が小さいため、急激な温度変化にも表面が平坦に保たれます。ホットプレスされた窒化ケイ素の高い強度は、高い応力耐性(例えば、高い圧力負荷)と優れた耐摩耗性を保証します。当社では、500 °Cまでの温度で大気中で使用できるホットプレートを提供しています。特定の技術的解決策を開発することで、1,000℃までの温度も達成可能です。しかし、900 °Cを超える温度での連続運転では、2,500運転時間という限られた寿命しか期待できませんが、1,000 °Cでも高真空下での運転では、摩耗や損傷は非常に少なくなります。
カスタマイズ設計
当社の社内設計により、サイズ、構成、性能の変更は簡単で便利です。温度センサー用の取付ブラケット穴やボアを設計に追加することができます。レーザーカット真空溝も追加できます。当社のホットプレートはすでに平坦に研磨されていますが、特定の要件に合わせて平坦度<10μmまで研磨することができます。加熱する製品や工具の輪郭に合わせた様々な形状も可能です。さらに、カスタマイズされた設計のセラミック加熱導体は、複数の加熱ゾーンの統合を可能にします。
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