モデルFD101は、単結晶シリコンから作られたピエゾ抵抗力センサーのダイで、力測定のために特別に設計されたユニバーサルまたは極端に低いレベルの力を測定するセンサーアプリケーションです。
本製品は、BCM SENSOR社製金属箔ひずみゲージEB型と同様に、4つのピエゾ抵抗体を隣接する抵抗体に対して垂直に配置したフォースセンサーダイです。そのため、全方向の力を測定することができます。
例えば、1個のセンサダイを曲げ梁に接着した場合は、ハーフブリッジ測定回路を形成し、2個のセンサダイを曲げ梁の上面と下面にそれぞれ接着した場合は、フルブリッジ測定回路を形成する。また、このセンサダイが接着される梁が引張梁と圧縮梁のいずれかである場合には、フルブリッジ測定回路を形成することができる。また、せん断梁やねじり梁に接着した場合も、フルブリッジ回路を形成し、せん断力やトルクを測定することができます。
FD101フォースセンサーダイの4つのピエゾ抵抗はフルブリッジ回路を構成しており、数マイクロストレインまでの低レベルの力測定に対応する高感度を実現しています。
FD101では、ホイートストンブリッジ回路を5個のハンダパッドによるオープンブリッジ回路に構成し、ご要望に応じてゴールドリードを装着することができます。5個のハンダパッドは、ゼロオフセット調整と温度補償を容易にする利点もあります。このセンサーのダイには信号調整回路がないため、出力信号はホイートストーンブリッジ回路から直接出力されます。
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