相対圧力センサ 101B(a19F)

絶対ピエゾ抵抗型MEMS

101B(a19F)型圧力センサー(PS)は、前面のダイアフラムが完全にフラットになるように設計されています。101B(a19G)のダイアフラムと比較して、101B(a19F)ではダイアフラムのエッジが盛り上がっていません。この特徴は、粘性のあるペーストのような粘着性のある圧力媒体や、廃水のような固体粒子を含む圧力媒体の圧力を測定する場合に特に有効です。また、液体の圧力分布を測定する際に用いられる2次元または3次元のセンサーアレイを構成する際にも、ダイアフラムが完全にフラットになっていることでメリットがあります。 101B(a19F)は、ダイアフラムとハウジングの両方に316Lステンレスを採用しています。そのため、101B(a19F)PSは、316Lステンレス鋼に適合する圧力媒体であれば、腐食性または導電性の圧力媒体の圧力を測定することができます。 101B(a19G)PSは、101B(a19F)PSと同様に、PS内部にピエゾ抵抗型の圧力センサーダイが内蔵されており、そのカプセルには非圧縮オイルが充填されています。 出力信号は，ホイートストンブリッジ回路から直接出力されるmV/V信号，10%~90%Vsのレシオメトリック信号，PS裏面に固定されたSSCを介したI2CまたはSPIプロトコルのデジタル信号など，さまざまな種類が用意されています。