産業用ベンチマークであるDatacon QUANTUMシリーズをベースに、成功したDatacon FC QUANTUMアドバンスドに比べ生産速度を大幅に向上させ、これまでにないCost of Ownershipを実現しました。同時に、4μm精度とプロセス制御に妥協することなく、最高の歩留まりでツール間の再現性を可能にしました。
- 汎用高速フリップチップボンダー
- 独自のクワトロコンセプト
- 精度 ± 4μm @ 3σ
- UPH 最大16,000
データコンQUANTUMシステム
Datacon QUANTUMフリップチップ装置の実機デモは、百聞は一見に如かずです。
主な特徴
100%改善されたCoO
- 革新的な「Quattro」マルチノズルコンセプト
- 同期プロセスステップ
- 高解像度大型FoVカメラシステム
- ボンディング位置合わせのためのクラスターアジャスト機能
精度
- 実証済みの精度 4μm @ 3s
- 強化された26MPカメラシステム
- リアルクロスインフルエンスによる最適化された動き
- 新しいマトリックスBMC 2.0
完全な歩留まり制御
- 完全な工程・生産管理
- 強化された擬似X線による優れた操作性
- ボンド後の高速検査
- 個別イジェクト、フリップ、P&Pツール検査
- チッピング/ダイクラック検出
使いやすさ
- 最小限の工具数量 - 素早い装置交換
- ダイ搬送シャトルなし - 中間ステップなし
- 簡単なリカバリーハンドリング
- 自動ノズルオフセット補正
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