金属用研磨機 POLI-762

精密回転テーブル機械式

POLI-762は小型12インチ化学機械研磨機で、手動ロード方式を採用し、任意に半自動ロードパレットを装備することができ、膜式エアバッグを使用して柔軟に圧力を増加し、摩擦力＆温度終点監視システムを装備することができ、酸化物、金属、STI、SOI、MEMS及びその他の製品の平坦化研磨に使用されます。用途は広い。 主な機能 ウェハーに膜の背圧をかけ、研磨板は冷却システムを内蔵しています。スイングアームドレッサー、摩擦・温度検出終点モニター機能、各領域の加圧システムはオプションです。 簡単操作 PC制御システム、タッチスクリーン制御、半自動ローディングパレットはオプションで、ワンボタン自動CMP研磨。 よい両立性 3つの独立したスラリー供給パイプライン、簡単に交換できる研磨板、交換可能な4、6、8及び12インチの研磨ヘッド、異なるサイズとタイプのウェハーに対応します。 小さな床面積 クリーンルームの床面積を最小限に抑えることができます。