金属用研磨機 POLI-400L

精密回転テーブルスモールスケール

POLI-400Lは4&6インチの小型化学機械研磨機で、手動ロード方式を採用し、メンブレンエアバッグを使用して柔軟に圧力を増加させ、摩擦力及び温度終点監視システムを装備することができ、酸化物、金属、STI、SOI、MEMS及びその他の製品の平坦化研磨に使用されています。用途は広いです。 主な機能 ウェハーに膜の背圧をかけ、研磨板は冷却システムを内蔵し、スイングアームドレッサーと摩擦＆温度検出終点監視機能はオプションです。 簡単な操作 PC制御システム、タッチスクリーン制御、マニュアルローディング、ワンボタン自動CMP研磨。 よい両立性 3つの独立したスラリー供給パイプライン、簡単に交換できる研磨プレート、交換可能な4または6インチの研磨ヘッド、異なるサイズとタイプのウェーハに対応します。 省スペース クリーンルームの床面積を最小限に抑えることができます。