金属用研磨機 POLI-500

半自動精密回転テーブル

POLI-500は小型8インチ化学機械研磨機で、手動ロード方式を採用し、任意に半自動ロードパレットを装備することができ、膜式エアバッグを使用して柔軟に圧力を増加し、摩擦力＆温度終点監視システムを装備することができ、酸化物、金属、STI、SOI、MEMS及びその他の製品の平坦化研磨に使用されます。用途は広い。 主な機能 ウェハーに膜の背圧をかけ、研磨板は冷却システムを内蔵し、スイングアームドレッサーと摩擦＆温度検出終点監視機能をオプションで提供します。 簡単な操作 PC制御システム、タッチスクリーン制御、半自動ローディングパレットはオプションで、ワンボタン自動CMP研磨。 よい両立性 3つの独立したスラリー供給パイプライン、簡単に交換できる研磨板、交換可能な4、6、8インチ研磨ヘッド、異なるサイズと種類のウェハーに対応します。 省スペース クリーンルームの床面積を最小限に抑えることができます。