ブラシ洗浄機 Cleaner series

自動ウェハー用高速

本シリーズは、ウェーハCMP後の特殊洗浄装置です。シングルステーションタイプ、インデックスタイプ、インラインタイプなどの異なる構造を持ち、異なるアプリケーションで使用することができ、インラインタイプのマシンは、全自動ロードおよびアンロードシステムが装備されています。これらのシリーズ機は、リンス、両面ブラッシング、メガソニック洗浄、N2乾燥、高速スピン乾燥機能を備えており、高集積、小フットスペース、ウェットインとドライアウト、CMP後のあらゆる種類のウェハーの洗浄に適しています。 充実した機能 リンス、両面ブラッシング、メガソニック洗浄、N2乾燥、高速スピン乾燥機能を搭載しています。 簡単な操作 PLCシステム、タッチスクリーン制御、ワンボタン自動ブラッシングとクリーニング、インラインタイプのマシンは、全自動ロードおよびアンロードシステムが装備されている、 "カセットにカセット "は、より便利です。 優れた互換性 フィクスチャの交換により、4〜12インチウェーハに対応。 省フットスペース クリーンルーム内のフットスペースを最小限に抑えます。