質量流量計 CS300 series

液体用ステンレススチール製RS485

セブンスターは、半導体市場向けに新世代のCS300 MFCをリリースします。CS300 MFCは、DFベースの圧力補正アルゴリズム、表面仕上げの改善、SEMI規格に準拠した仕様、1.125" IGS WシールとCシールのインターフェイスを備えています。 特徴 1.高精度、高速応答 CS300 MFCの精度は±0.8%S.P.まで向上し、最新機種では0.5秒以下の応答時間を実現しています。 2.低いゼロドリフトと温度係数 新しいセンサー技術の発明により、CS230 MFCは安定性を維持し、温度変動に耐えることができます。オートゼロアンプなしで、予想ゼロドリフトは0.6%F.S./年未満、温度係数は0.02%F.S./℃(ゼロ)、0.05%F.S./℃(スパン)未満です。 3.メタルシールモデルと高純度の特徴 CS300は特殊金属表面処理を施しています。316ステンレス鋼VVを使用し、粗さはセミスタンダードで要求される5RA以下となります。 4.対応インターフェイス CS300 MFCは、±8V-±16Vダブルエンド電源および+14V-+28Vシングルエンド電源、デジタルまたはアナログ信号入出力、SEMI標準機械寸法、RS-485またはDeviceNetTM通信モジュールに対応しています。 5.その他の機能 マルチガス、マルチレンジ、オートゼロ、アラーム、ソフトスタート、ディレイなどの追加機能が選択可能です。