、ビスコース分配する、1.Achieve粘着性があるフィルム、配置、逆にされた包装粘着性がある、ウエファーGaasの付着力の圧力制御、高精度。
2.Use超精密空中移動のプラットホーム、主システムXのY軸は0.02um正確さにゼロ圧力、完全に無接触摩擦がない空気浮遊物システム、エンコーダーのスケールの高解像の線形エンコーダーを使用するために高速をの精密、副ミクロン レベルの位置達成できる達することができる
3.Theプラットホームの設計使用花こう岩の安定性が高いの統合された高速スポーツのプラットホーム、熱安定性のおよび機械安定性保障のT8Wおよび高速開始時刻および+-1.5 umおよびよりよいパッチの正確さ高精度のアプリケ−ション使用要件を満たすために同時に達成するため。
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