3自由度または6自由度の電子・空気圧式アクティブ防振装置。
AIS™アクティブ・アイソレーション・システムでは、アクティブ制御により、高周波での特性を劣化させることなく、共振時の増幅を抑制し、防振性を大幅に向上させます。この際、AIS™は空気ばねの動作トラベル(ストローク)全体にわたってアクティブな特性を維持します。
動的な用途では、システムのアクティブな応答により、加振後のたわみ時間が短縮されます。その結果、静止状態ではより速く、位置決め動作を伴う測定作業では、パッシブシステムよりも短いサイクルタイムを達成することができます。
このシステムの特徴は、空気圧アクチュエーターの原理で、非常に重い機械であっても、広い動的動作範囲をカバーします。極めて高速に反応するバルブにより、300Hzまでの制御帯域幅が可能です。このシステムはリアルタイムで反応し、その結果、その性能は複雑なフィードフォワード信号制御を行う防振システムの性能に全く劣らない。
AIS™は、3自由度または6自由度のアクティブ制御で使用することができます。さまざまなアプリケーションの要求に対応することができます。垂直方向に並んだ3つの調節自由度を持つコントローラーが使用され、垂直方向の位置と両水平軸周りの回転をアクティブに調節します。その他の自由度は、メンブレンによって受動的にリセットされます。
6つの制御自由度を持つHAB水平空気バネも使用されています。この構成では、6つのコントローラーが垂直方向と水平方向の両方に配置されています。
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