マスフローメータ・コントローラCORI-FLOW™シリーズは高精度の質量流量測定のために設計されました。CORI-FLOW™は取得の先進的なコリオリ式直接質量流量測定用センサーを搭載しており、圧力、温度、密度、伝導率、粘度といった運転条件が変化しても優れた性能を発揮致します。質量流量制御のためのコントロールバルブを組み合わせることも可能です。
マスフローコントローラ用調節弁の設計コンセプトは、他マスフローコントローラメーカーのそれとは異なり、モジュラー構造で、ユーザーが再調整すること無しに現場で交換できる能力を備えています。標準バルブはノルマルクローズでKv値1.5までご利用できます。又、ノルマルオープンもご利用いただけます。
適用例
この製品は次のような様々な分野にて御利用頂けます。
半導体プロセス
食品・飲料産業
(重)化学工業設備
適用事例
スプレー投与による表面処理(塗料、接着剤、樹脂など)
燃料試験のためのテストベンチ
マイクロリアクター技術
液体混合システム(コンタクトレンズのクリーニング液調製用)