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質量流量制御器流量計 EL-FLOW® Metal Sealed熱式質量質量ガス用
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特徴
- 技術
- 熱式質量
- タイプ
- 質量
- 流体
- ガス用
- 設置
- インライン
- 材質
- ステンレススチール製
- 通信
- 4-20 mA, アナログ出力, Modbus RTU, RS-232, PROFIBUS DP, イーサネット
- 供給電圧
- 24VDC, 15VDC
- 保護レベル
- IP40
- 応用
- 半導体産業用
- その他の特徴
- デジタル, 高精度, 質量流量制御器
- 体積流量
最大: 50 l/min
(13.2086 us gal/min)最少: 0.1 l/min
(0.0264 us gal/min)- 動作温度
最大: 50 °C
(122 °F)最少: -10 °C
(14 °F)- 耐圧力
1,000 psi, 1,500 psi
- 精度
0.1 %, 0.5 %
- 繰返し精度
0.1 %, 0.2 %
詳細
ブロンコストのメタルシール型マスフローメータ / コントローラは、優れた再シール性能をもつ独自の特許取得済みの金属間シール構造が特徴です。さらに、それらは高い表面品質を有するため、半導体およびソーラー産業界、その他高純度ガスアプリケーションの要請を満たすのに特に適しています。マスフローメータ / コントローラのベースブロックには1/4" 金属面シール継手(VCR)が付属します。
フィールドバスインターフェイス付きメタルシール型マスフローメータ / コントローラ
現行の製品はデジタルPCボードを搭載しており、高精度、優れた温度安定性、高速応答(セトリング時間t98% 最小500 ms)などの特長があります。最新のEL-FLOW®はマルチガス・マルチレンジ機能にオプション対応致しますので、お客様(特にOEM顧客)へ最適な柔軟性とプロセス効率を提供します。顧客の利便のため、ブロンコストは操作が容易な機器設定用ソフトウェアを提供しております。
カタログ
METAL SEALED
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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。