SolidSense II ® プレッシャートランスデューサ
正確で安定した超高清浄制御により、プロセスの精密性を最大限に向上
さまざまな業界における超高清浄度の特殊ガスアプリケーションで圧力を測定する場合、優れた安定性と精度を維持するプレッシャートランスデューサが求められます。ブルックスインスツルメントのSolidSense II® プレッシャートランスデューサは、溶接を使わない耐腐食性材質を採用し、優れたゼロ安定性と0.25%フルスケール以内の高精度を実現します。
ゼロドリフト、スパンドリフト、熱変性、筐体ストレスなどの問題は競合トランスデューサでは起こりがちで、メンテナンスやダウンタイムにつながります。ブルックスでは、これらのトラブルを防ぎます。SolidSense II® 機器は、頑丈でメンテナンスしやすい設計で、総所有コストを低減します。
特長
材質:高温焼なましVIM-VAR 316Lステンレスのボディフレーム、一体型機械加工センサ搭載
異種材質を使用し、溶接や継手のない設計
圧力レンジ:30~3000 psiフルスケール
ディスプレイ、またはフル機能搭載のプログラム可能ディスプレイを内蔵したモデルも用意しています。
多点温度補償法を使用したデジタル熱補償
ゼロドリフトを低減する独自のマイクロ加工による半導体ひずみゲージ
残留ガスを完全に排除する掃引流路
出力:4~20 mA、0~10 Vdc、0.05~5.05 Vdc
メリット
なめらかな表面仕上げと耐腐食材質により、汚染の混入しない測定が可能 - 半導体や工業アプリケーションに最適
水素脆化に対する耐性が高く、長期使用が可能
可変温度下でも、長期安定した繰り返し性の高いセンサ性能により、信頼性の高いパフォーマンスを実現
卓越した安定性で高精度を維持
初期ゼロ調整がなく、キャリブレーションの時間を削減
精密加工された2種類のひずみゲージセンサで優れた性能を実現
ガラスの溶解接着を使用したセンサ取り付けにより、ストレスを軽減し、長期使用が可能
デジタル温度補償により、温度範囲全体で熱安定性を向上
用途
半導体製造
超高清浄流体の保存・供給システム
薄膜プロセス
化学・石油化学研究
ラボおよび解析プロジェクト
食品と飲料品
医薬品