熱式質量流量計 5850EM

質量ガス用インライン

5850EM シリーズ メタルシールサーマルマスフローコントローラ 実証された長期安定性。高圧アプリケーション向けの超高清浄性能 5850EMシリーズメタルシールマスフローコントローラは、幅広く使用されている5850E & i シリーズ MFCの性能に基づく安定性を備え、清浄環境において高圧ガス流量を測定・制御します。メタルシール設計と電解研磨による接ガス表面により、優れた流量インテグリティを実現し、安定したガス流量を提供するプロセス全体の効率性を向上します。ガス圧の継続監視や再調整が必要ありません。 特長 長期的なゼロ点安定性：0.2％フルスケール/年以下 3秒以下のセトリングタイムで、微少オーバーシュート/アンダーシュートによる変更に対応 オプションの強化されたプロセス内部仕上げ - 平均5µインチRa 取り外し可能な流量センサ 取付姿勢の影響なし 他のマスフローコントローラとの機械的/電気的互換性 TTL準拠の「バルブオフ」およびパージ機能 メリット ガス清浄度を向上し、リークを削減するメタル製流路 幅広いプロセスとアプリケーション範囲で実証済みの長期安定性と精度 信頼性の高いパフォーマンスにより優れた投資利益率を提供 連続監視とガス圧の最調整が必要ない取り外し可能な流量センサ アナログ専用入力/出力により、取り付けとサービスが容易 用途 ファイバオプティック LED / MOCVD 半導体 ソーラー