差圧計 122 series

ダイヤルねじ式ステンレススチール製

高清浄度アプリケーション用に効率的かつ正確に圧力をローカルでモニタリング ブルックスインスツルメント122シリーズメカニカルプレッシャーゲージは、半導体産業の要求の厳しい高清浄アプリケーション向けに設計･開発されています。ステンレス製のボディフレームで、1%フルスケールの高精度を実現します。2種類のインチゲージは、さまざまなプロセス接続、圧力レンジ、ソケット向きに対応する耐久性の高いデバイスで、効率的かつ正確に圧力をローカルでモニタリングします。 特長 精密性能を実現するステンレス製可動部 316Lステンレスの接ガス・接液部 無酸素チャンバの溶接ゲージで、厳しい清浄性･安全性ガイドラインにも適合します。 豊富なモデルと圧力レンジをそろえ、固有の設計ニーズをサポート メリット 確実かつ効率的に圧力をローカルでモニタリング 用途 半導体処理に使用されるガス供給システムおよびツール： バルクガス ガスキャビネット ガス供給