流量圧力コントローラ 5866RT

調節可能

汎用性が高く、幅広い流量測定レンジの高圧アプリケーションに対応 ブルックスのモデル 5866RT メタルまたはエラストマシールプレッシャーコントローラ/フローメータは、圧力を制御すると同時に流量レートを測定します。モデル5866RT は、リモートのプレッシャートランスデューサ信号を受信し、一体型PID 制御エレクトロニクスと制御バルブを使用し、圧力を必要なレベルで一定に保ちます。シール、電解研磨の接ガス・接液表面、幅広い圧力レンジ、流量測定レンジのオプションを備え、5866RT は、さまざまなプロセスで優れた結果をもたらしています。 特長 一体型プレッシャートランスデューサ 応答時間：0.8秒以下 0 - 3 sccmから0 – 30,000 sccmのフルスケール流量レートの幅広い測定レンジ オプション対応のメタルシール 電解研磨された接ガス・接液表面（オプション） 電動式バルブオーバーライド 上流または下流制御に最適 アナログインターフェース メリット ドループ、ヒステリシス、ブーストを制御 高リークインテグリティ 圧力や流量を強力に制御 トップに取り付けたDIPスイッチでダイナミックなチューニング調節 用途 薄膜プロセス 化学研究 石油化学研究 実験室・ラボ 燃料電池 ライフサイエンス