ガス圧力コントローラ PC series

流量精密

PC100シリーズプレッシャーコントローラおよびメータは、さまざまな高性能なテクノロジーを組み合わせ、要求の厳しい半導体、蒸着、高精度の製造プロセスでも、精度と信頼性の高い圧力制御を実現します。 実績あるブルックスGF 100マスフローコントローラテクノロジーを基に作られたPC100シリーズは、高清浄オールメタル流路、センサドリフト（偏差）を低減する高性能なセンサテクノロジー、ユーザーインターフェース、デバイスの診断機能を搭載。デバイス評価やトラブルシューティングを容易に実行し、稼働中断やダウンタイムを大幅に減らします。 特長 応答時間：1秒以下 フルスケール流量レート 最大10 slm トランデューサ圧力レンジ：1000 Torr FS メタルシール流量経路：5µインチRa表面仕上げ 組み込みフローメータ付PC125には、高速ARMプロセッサを搭載した耐腐食ハステロイ®製C-22フローセンサが付属 非ダイアフラム高速動作バルブアセンブリ 使いやすいプッシュボタンを備え、流量、温度、ネットワークアドレスをローカル表示する可視性の高いLCDディスプレイ 独立した診断/サービスポート独立した診断/サービスポート DeviceNet™ プロトコル メリット 圧力制御向上のための応答時間と設定時間を短縮する高性能コンポーネント 転用ガス消費と廃棄コストを削減 SEMI F20準拠の耐腐食性オールメタル接ガス･接液部流路で表面積とデッ ドボリュームを削減し、パージ時におけるドライダウン時間を短縮 サーマルセンサと圧力センサの長期安定性により、最大の収率とスループットを保証 スローランプ付の圧力制御が必要なプロセス向けにユーザー定義が可能な起動機能 用途 半導体高度エッチングツール 薄膜化学蒸着（CVD）システム（CVD、MOCVD、PECVD、ALD） 物理蒸着（PVD）システム