ブルックスインスツルメントのCMCシリーズキャパシタンスマノメーターは、広範囲な動作温度にわたって信頼性の高い正確な真空測定を実行し、高額な大型非加熱ゲージに代わる経済的な代替品です。コンパクトなデザインと実証された性能で、小型形状のゲージが必要な既存ツールのアップグレード版として理想的です。
全溶接型ボディ設計とインコネル®製接ガス・接液部表面により、最も難易度の高いプロセスでも、信頼性と繰り返し性の高い運転が可能です。精密コンポーネントと幅広い温度補償動作範囲を組み合わせることで、最適な測定安定度を実現するクラス最高のゼロおよびスパン温度係数を提供します。
特長
10 Torrから1000 Torrまでのプロセスレンジに対応
2種類の精度レベル:0.25%または0.50%の読み取り(オプション)
広範囲な動作温度にわたって卓越した性能を提供
従来の非加熱キャパシタンスマノメーターより40%も小さなコンパクトサイズ
全溶接型ボディ設計とインコネル®製接ガス・接液部表面
メリット
高額な非加熱マノメーターと同等の精度を実現するオプションの高精度キャリブレーション
クラス最高のゼロおよびスパン温度係数
狭小なマシンスペースにも組み込める省スペース設計
エラーの原因となる内部ストレスを起こす他社製品の設計と比較すると、最適な測定繰り返し性を実現
用途
超電導体製造
薄膜蒸着プロセス - ガラス、ウェブ、光学被膜
生鮮素材のフリーズドライ
医療機器のハイテクコーティング(外科手術器具、歯科用ドリルなど)