容量計 XacTorr®

真空プロセスの効率性と性能を最大限に高めたいなら、ブルックスインスツルメントのXacTorr®シリーズデジタル真空キャパシタンスマノメーターをお選びください。XacTorr®シリーズデバイスは、高い信頼性の測定を実現する業界トップの機能を搭載。ドリフトを削減し、ダイアフラム耐汚染性を向上するとともに、熱による影響を最小限に抑えます。 先進的なMark-IVセンサの表面積の一部は、圧力測定に使用されず、粒子や凝縮蒸気が堆積します。ゲージのゼロ調整の必要がないため、センサドリフトのリスクが生じず、同時にセンサの耐用年数を伸ばすことができます。また、オプションで優れたクローズドループ制御性能を備えた高速応答センサも用意しています。 その結果、 超高精度で、繰り返し性と効率性の高い真空測定が可能になります。チャンバを排気（真空化）するごとに、クリーンで汚染フリーの生成を行うプロセスに必要なTorrを実現できます。 特長 0.10 Torrから1000 Torrまでのプロセスレンジに対応 さまざまな精度レベルに対応 特許取得済みMark IVセンサ 超高精度で、幅広いダイナミックレンジによる操作を実現するデジタルアーキテクチャー デュアルゾーン温度コントロールにより、測定の安定性と繰り返し性を向上 長期安定のデジタルキャリブレーションにより、常に信頼性の高い精度を維持 インテリタッチのゼロ調整 アクセスしやすい、独立した診断/サービスポート DeviceNet®およびアナログ通信オプション メリット ドリフトを低減し、プロセスガスの沈着を防ぐ 電子部品に伴う手動のポテンショメータやドリフトを排除 高速起動、厳密な温度制御、変更に対する高速応答 長期安定のデジタルキャリブレーションにより、確実に高い精度を維持し、リアルタイムで周囲温度変化を補償 圧力が高すぎる、または設定した温度に達しない場合、ゼロ合わせ（ゼロ点調整）を回避 診断ポートにより、デバイスの運転と同時にチャンバとツールマッチングの監視とデータ取得を行い、リアルタイムで高度なトラブルシューティングを実行できます。 用途 超電導体製造 薄膜蒸着プロセス - ガラス、ウェブ、光学被膜 生鮮素材のフリーズドライ 医療機器のハイテクコーティング（外科手術器具、歯科用ドリルなど）