熱式質量流量計 9861

質量ガス用ステンレススチール製

ブルックスインスツルメントの9861シリーズ高温サーマルマスフローコントローラ/メータは、プリカーサやドーパントの高温供給における厳しい条件に合わせて作られており、あらゆるプロセスガスや気体に対応する清浄度・リークインテグリティの高いメタル流路を備えています。特許取得のIsoSensor™ は、加熱ガスラインやベーキングシステムなど環境温度が上昇する条件にも対応する安定性の高いフローセンサです。IsoSensor™ の優れたドリフト性能により、高温アプリケーションでは起こりがちなゼロ点補正（再調整）や再キャリブレーションの必要性を低下させています。 特長 安定性の高いIsoSensor™ 流量測定センサ(特許取得済み) 極めて正常性の高い流路 アナログコネクタが2本付属。リモートエレクトロニクスを標準装備 デジタル測定と制御アーキテクチャ メリット 安定性の高いセンサにより、稼働時間が向上し、メンテナンスの必要性とCOOを削減 フルメタルのガス流路で、ガス/気化ガスのインテグリティと清浄度を保持 20ピンカードエッジ、および9ピンまたは15ピンのDコネクタが付属. 標準化が可能で、予備品在庫を削減 精度とプロセス制御を向上 用途 光ファイバー製造 - MCVD シリコン半導体装置製造プロセス