VersaTorr BVT100シリーズ真空計は、クラス最高の性能を提供し、熱伝導率真空計の使用可能測定範囲を10~30年延長することにより、新たな基準を確立しました。
VersaTorr BVT100シリーズ真空ゲージの設計は、最先端のMEMS(Microelectromechanical Systems)センサー技術に基づき、斬新な精密デジタル信号処理アーキテクチャと先進の革新的測定アルゴリズムを組み合わせています。精密な自動製造と校正プロセスとともに、これらの要素を組み合わせることで、妥協のない測定性能を実現するユニークな製品を提供しています。
熱伝導率ゲージの粗真空領域でよく知られているガス依存性は、より高価なキャパシタンスマノメーターに匹敵する精密性能を提供するMEMSダイアフラムセンサーを統合することで解消されました。この機能により、真空システムのベントプロセスをより正確に制御し、真空システムの過加圧を防ぐことができます。
特長と利点
BVT100は大気圧から7.5 x 10-7まで測定でき、BVT125は大気圧スイッチ付きです。
これらの真空計は、複数の真空計と個別の大気スイッチの必要性を最小限にすることで、システム設計を簡素化し、スペースとコストを節約します。
90年の超広範囲測定範囲
高度なデジタル信号処理による比類のない価格性能比
2~1333mbarのガス独立ダイアフラムセンサー
Brooks Vacuum Transducer Communicator USBプログラマによる簡単設定
超安定ゼロ点ドリフト補正
オプションのプロセス制御用ソリッドステートセットポイントリレー
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