熱式質量流量計 4800 series

質量ガス用ステンレススチール製

4800 シリーズ　サーマル式MFC スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答 4800 シリーズ サーマル式MFC（サーマル式マスフローコントローラ/メータ）の応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性も向上します。4800シリーズコントローラ/メータの主なメリット：高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、4800シリーズコントローラは実流量を高速で追従させることができます。オプションのローカルオペレータインターフェース（LOI）は、リモートのセカンダリエレクトロニクスを使わず、デバイスを表示、制御、設定する便利なユーザーインターフェースです。 特長 流量応答時間（セトリングタイム） 0.75秒以下 革新的MEMSセンサおよび専用PIDアルゴリズム 通常のサーマル式MFCの半分で、コンパクトなサイズ： 1” x 3” x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm) オプションのローカルオペレーターインターフェース（LOI）でセットアップと操作を合理化：デバイスの監視やゼロ合わせ用にLabVIEW VIを無償でダウンロード RS-232によるデジタル対応 メリット 幅広い種類の非腐食性ガスに最適 高速応答時間により、プロセスのレシピ変更でも迅速なステップを確保 OEMに最適：狭小なマシンスペースにも容易に組み込め、設置スピードを加速するコンパクトサイズ オプションのローカルオペレータインターフェース（LOI）は、ローカル表示、セットポイント制御、デバイス設定を行うターンキーソリューションです。リモートのセカンダリエレクトロニクスが必要ありません。 ユーザーの要件に合わせられる、さまざまな通信オプション 用途 熱処理、カッティング/溶接、サーマルプロセス ソーラー/薄膜物理蒸着（PVD）システム 試薬、キャリブレーション、サンプルガス流量の測定と制御を行う解析デバイス