熱式質量流量計 GF80

質量ガス用ステンレススチール製

GF80 シリーズ メタルシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ 価値重視のメタルシールアプリケーションの性能基準を向上します。 工業および半導体プロセスでは、性能とコスト効率が不可欠です。GF80 シリーズメタルシールマスフローコントロラ/メータの特長：ブルックスのベストセラー、GF シリーズと同様の高速応答センサと特許取得済みの第4世代MultiFlo™ テクノロジーを搭載し、低価格なプライスポイントで高性能が求められる作業に最適です。メタルシールMFC に移行すると、使用可能なガスに限度がないため、MultiFlo™ マルチガス/マルチレンジ機能のメリットを最大限に活かすことができます。エラストマによる透過酸素を防ぐことによってガスの清浄度を向上し、メタルシールが永久的に継続するので、メンテナンス回数を減らすことができます。 特長 長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 セトリングタイム 1秒以下 オールメタル製シール流路：16µインチRa表面仕上げ 耐腐食ハステロイ® 製センサは、熱変性しやすいガスに適した低温で動作可能 設定可能なMultiFlo™ 機能- ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、1台のデバイスで数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポート 有効な温度補償により、クラス最高の温度係数仕様を実現 自己診断ルーチンと独立した診断用サービスポートを搭載 VCR継手でスリムなボディ幅 DeviceNet™、Profibus®、RS-485、アナログインターフェース メリット 1秒以下の高速流量セトリングタイムにより、ガスの無駄を省き、プロセスの変動性を解消 酸素を透過し、経時で交換が必要なエラストマシールを使用しない MultiFlo™ は、MFC の取り外しやキャリブレーションが必要なく、プロセスガスの切り替えを簡素化し、合理化 新しいガスおよび/またはレンジを60秒以下で設定可能 温度の変動に影響されない測定精度 診断ポートに簡単アクセスして、生産稼働時間を最大限に向上 狭小なマシンスペースにも容易に組み込めるコンパクトサイズで、改良に最適 数種類のプロトコル通信インターフェースにより、既存システムへの組み込みを合理化 用途 新しい半導体プロセスツールで　レガシーMFCのコスト効率の高い改良/アップグレード 6インチ/8インチの半導体工場におけるMFCの在庫を削減 LEDおよび電源デバイス製造向けMOCVD ソーラー/薄膜化学蒸着（CVD）システム 解析OEM設備