光学式プロフィロメータ ContourX-500

3D白色干渉法産業用

ContourX-500光学式プロファイラー（三次元白色干渉型顕微鏡・表面形状粗さ計）は、高速で非接触の3次元表面形状測定を可能にする、世界で最も包括的なベンチトップ型自動測定システムです。ゲージ対応のContourX-500は、卓越したZ軸の分解能と精度を誇り、ブルカーの白色光干渉計（WLI）のフロアスタンド型モデルの利点をすべて備えていますが、設置面積ははるかに小さくなっています。このプロファイラは、精密加工された表面や半導体プロセスのQA/QC計測から、眼科やMEMSデバイスの研究開発における特性評価まで、幅広い複雑なアプリケーションのために簡単にカスタマイズすることができます。 ブルカー独自のベンチトップ型設計 ブルカー独自のティップ/チルト機能を搭載した顕微鏡ヘッドは、生産現場でのセットアップや検査において、比類ない柔軟性を提供します。顕微鏡ヘッドの光路にチップ/チルト機能を組み合わせることで、ブルカーは検査ポイントをチルトとは無関係に視線に結合します。これにより、オペレーターの介入が少なくなり、最大限の再現性を得ることができます。その他のハードウェアの特徴としては、革新的なステージデザインにより、より大きなスティッチング能力を実現し、1200x1000の測定アレイを備えた5MPカメラにより、低ノイズ、広い視野、高い横方向の解像度を実現しています。これらの機能と自動ステージングおよび対物レンズの組み合わせにより、ContourX-500は、コンパクトな設置面積でありながら、研究開発や産業用計測に理想的な環境を実現しています。