3Dプロフィロメータ Dektak XTL

スタイレット産業用

最大300 mmの性能を備えたゲージ対応QA/QC向け触針式プロファイラー Dektak X 触針式プロファイリングシステムDektak XTLは、正確度、繰り返し性、再現性が極めて高く、幅広い用途に対応する計測システムです。350 mm x 350 mmまでのサンプルを搭載できるため、定評あるDektakシステムの性能を200 mmおよび300 mmウエハ製造にも活用できます。インターロックドアによる隔離機能を備えたDektak XTLは、要求の厳しい現在の生産環境に最適です。カメラ2台の構成により空間認識性能が上昇し、高度な自動化により製造スループットが向上します。 卓越した性能と使いやすさを兼ね備えたDektak XTLは、タッチパネル、太陽電池、フラットパネルディスプレイ、半導体分野の産業用薄膜形成モニタリングの研究およびQA/QCでの評価において、新たな標準装置となる製品です。