格子間酸素分析器 SiBrickScan (SBS) Silicon Ingot Analyzer

濃度シリコンインゴット用

SiBrickScan (SBS) は、シリコンインゴット中の格子間酸素を非破壊で定量できる専用FTIRで、半導体シリコンの生産現場におけるアトライン分析に最適なシステムです。インゴットの長手軸方向の酸素濃度プロファイルを、従来のように試料を切り出すことなく、ダイレクトかつ正確に分析できるため、品質管理の効率が飛躍的に向上します。こうした情報を、ウェーハを切り出す前の段階で把握できるため、個々のインゴットの評価はもちろん、単結晶引上工程の最適化を検討する上でも有用なシステムと言えます。 SBSの特長： • 格子間酸素の検出下限 < 2 ppma • ASTM/SEMI 1188法との高い相関性 • サイズの異なる角柱型および円柱型インゴットに対応 • 革新的なハイスループット光学系および内蔵参照試料 • 直観的で快適なユーザーインタフェース • 自動データ評価機能 • 精密リニアドライブ採用の堅牢性と業界互換設計 • 液体窒素不要の高感度検出器