マグネトロン スパッタリング式貯蔵マシン STARpro

薄膜真空光電子工学用

「 Bühler Leyboldの光学のSTARproは新しい反応単一のマグネトロン放出させる精密光学適用に専用されている塗装システムをである。システムは取付け易く、作動し非常に易い。さらに、STARproはBühler Leyboldの光学の優れた光学測定システムLEYBOLD光学OMS 5100の実施によって全体のターゲット寿命中のspot-on正確さそして高い再現性を達成する。 スペース節約の極度のコンパクト デザイン 私達のプロダクト有価証券内の最も小さい足跡を使って STARproはニッチの内に置くことができる。これは可能なコーティング プロセスの大きい変化を伴ってそれに最も小さい実験室の環境のための完全な適合を、特にする。 印象的なプロダクト多様性のために構成可能プロセス装置 SiO2およびSi3N4複数の層の使用によって、反反射コーティングから帯域フィルタ、エッジ・フィルタ、誘電性ミラーおよび二色性フィルターまで及ぶプロダクトは作り出すことができる。 プロセス部屋とは別にある負荷ロックは基質が粒子によって汚染されないことを保障する。 最大並行して塗られるべき4つの基質によってSTARproは速い層のプロトタイピングおよび小型バッチ光フィルタの生産のための完全な選択である。 現場の光学測定システムのおかげで非常に精密な再現性の 設計されていた層の積み重ねが正確にいつでも達成されることを優れた現場の光学測定システムLEYBOLD光学OMS 5100は保障する。 Bühler Leyboldの光学ソフトウエア ツールLEYBOLDの光学\ 「SimuOMS5000を伴う理論的な層の設計の速いダウンロードは\ 「するSTARpro. \ /htmlの最初の打撃との計算された光学性能を」実現することを可能に