PECVD貯蔵マシン DynaJet

光起電性スパッタリング式金属化フィルム

DynaJetはシステムを金属で処理することのDynaの系列の最も新しいメンバーである。このバッチ放出させるシステムはすべての物理的な蒸気沈殿（PVD）専門知識Bühlerのベストを提供しなければならない結合する。回転陰極は生産性の新しい次元を提供する。高いターゲット利用は長いターゲット寿命による所有権の低価格を提供する。turbomolecularポンプ施設管理（TMP）は慣習的なシステムによって必要なわずか電気エネルギーおよび冷水だけ必要とする。すべてこれは年次所有権の費用の重要な減少で起因する。 革新的な設計のおかげで長い寿命そして速いターゲット交換 -新しいターゲット設計はちょうど25%の利用を提供した前のバージョンと比べて70- 80%のターゲット利用を提供する。さらに、回転陰極の設計は4回大いにターゲット寿命を増加できる。 高められたプロセスは高速コーティングおよび最もよいPVDの同質性を提供する -長い回転陰極および最大限に活用されたcryoコイルの保証最もよいPVDの同質性。semi-transparent層をである別の可能な適用放出させる。最大限に活用されたBühlerアーク管理は安定した放出させるプロセスを保障する。血しょう高められた化学気相堆積（PECVD）プロセスの新しい開発高速トップ コーティングを可能にするため。それ以上のキー エレメントは有効なthree-stage前真空のポンプ施設管理である。 新しいポンプ施設管理は優秀なエネルギー効率を提供する -平均エネルギーの消費は所有権の費用の重要な面である。TMPのDynaJetの新しいポンプ施設管理は市場で他の機械と比べて10年の800000 kW/hを救う。