スパッタリング式塗工機 GLC series H

ガラス コーティング用

LEYBOLD OPTICS GLCシリーズHは、建築用ガラスコーティングのニーズに合わせて特別に設計された水平インラインスパッタコーティングツールです。 ユニークなコンパートメントデザインのLEYBOLD OPTICS GLCシリーズHは、難しい層スタックや柔軟な製品ミックスに最適です。 典型的なコーティングには、太陽光制御、反射防止、シングル、ダブル、トリプル低放射率（Low e）、太陽光制御コーティングが含まれます。 LEYBOLD OPTICS GLCシリーズHは、標準のUSおよびジャンボ基板サイズに対応しており、最大 3,3m × 15,6mまでのメガネにコーティングするように構成することができます高度な 技術は、低い生産コストを保証します 高度なギャップ制御は、ターゲット材料の最大限の利用と経済的な使用を可能にします。 生産コストを低く抑えます。 フルサイズの二重平面陰極は、特定のターゲット材料のキャンペーン時間を2 倍にするか、2 番目の材料の柔軟性を提供します。 プロセス品質を高める独自のガス流れ 独自のプロセスガス流量管理により、高い反応性スパッタリング率を実現し、ターゲット酸化を最小限に抑え、プロセスガス消費量を削減します。 アクティブガス分離機能により、フットプリントが小さい場合でも効果的なガス分離係数が保証されます。 最適化された設計により、プロセス中のTMP 電力の削減が可能になり、直接省エネにつながります。