光起電性貯蔵マシン SYRUSpro series

イオン ビーム補佐薄膜光電子工学用

Bühler LeyboldオプティクスのSYRUSproシリーズは、精密な光学系向けの高い精度と高い収量レベルの光学コーティングを備えた、業界をリードするプラットフォームです。 SYRUSproコーターは、深紫外線（DUV）から可視スペクトル（VIS）まで、赤外線（IR）スペクトル範囲までの用途に最適です。 様々なコーティングは、エッジフィルター（ショートパスとロングパス）、UV-IRカットフィルター、ノッチフィルターとナローバンドパスフィルター、ダイクロイックカラーフィルターと偏光ビームスプリッター、レーザー用のARおよびHRコーティングなど、多くのコーティングをカバーしています。 すべてのSYRUSproは、多数のBühler Leyboledオプティクス独自の標準化されたコンポーネントを備え、お客様の要求に対応しています。 これにより、増加するプロセス要件に合わせて簡単な更新が可能になります。 さらに、Bühler Leybold Opticsの最先端のプロセス制御システムは、高いプログラミングの柔軟性と最大レベルの自動化を結びつけています。 これらのすべての属性を組み合わせることで、極めて精密で高い歩留まりと高スループットの数値を実現し、光学フィルタの連続生産を実現します。 最大の柔軟性 SYRUSproコーティングのための異なるチャンバサイズは、内径 710mmから2810mmまでの8つの異なるチャンバサイズで入手可能です。 これは、お客様が定義した荷重容量と基板サイズに完全に一致する対応するチャンバを提供できることを意味します。 一例として、当社の1950mmまたは2810mmチャンバは、極端な基板サイズに最適なプラットフォームです。