光起電性貯蔵マシン NESSY series

マグネトロン スパッタリング式薄膜真空

NESSYシリーズは、ビューラー・レイボルド光学系の最新世代マグネトロンスパッタシステムです。 超高真空（UHV）条件下での極限紫外線（EUV）ミラーのコーティングの製造に専念し、大量生産および新製品の開発のために設計されています。 NESSYコーターは、最大 6つの異なる長方形スパッター陰極を装備することができ、完全なミラーコーティングを達成するために不可欠な他の材料と一緒にモリブデンおよびシリコンを使用することができます。 その結果、完全なコーティングスタックを1つのサイクルで実行することができます。 13.5nmの波長で最大の反射率を持つ将来のモリブデンシリコン多層ミラーに適合するコーティングを備えた画期的なアプリケーションは、反射技術の古典となっています。 次世代リソグラフィ装置では、コンデンサーやプロジェクターミラーとして欠かせないミラーです。 EUVリソグラフィに加えて、多層干渉ミラーは、X 線測定装置、放射光オプティクス、その他の高度な科学用途にも使用できます。 多種多様な複雑な基板により、NESSYは新しいアプリケーションやコンポーネントの開発に最適です。