光起電性貯蔵マシン NESSY series
マグネトロン スパッタリング式薄膜真空

光起電性貯蔵マシン - NESSY series - Bühler Leybold Optics - マグネトロン スパッタリング式 / 薄膜 / 真空
光起電性貯蔵マシン - NESSY series - Bühler Leybold Optics - マグネトロン スパッタリング式 / 薄膜 / 真空
光起電性貯蔵マシン - NESSY series - Bühler Leybold Optics - マグネトロン スパッタリング式 / 薄膜 / 真空 - 画像 - 2
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特徴

方法
光起電性
技術
マグネトロン スパッタリング式
貯蔵方法
薄膜
その他の特徴
真空
応用
光電子工学用, ミラー用

詳細

NESSYシリーズは、ビューラー・レイボルド光学系の最新世代マグネトロンスパッタシステムです。 超高真空(UHV)条件下での極限紫外線(EUV)ミラーのコーティングの製造に専念し、大量生産および新製品の開発のために設計されています。 NESSYコーターは、最大 6つの異なる長方形スパッター陰極を装備することができ、完全なミラーコーティングを達成するために不可欠な他の材料と一緒にモリブデンおよびシリコンを使用することができます。 その結果、完全なコーティングスタックを1つのサイクルで実行することができます。 13.5nmの波長で最大の反射率を持つ将来のモリブデンシリコン多層ミラーに適合するコーティングを備えた画期的なアプリケーションは、反射技術の古典となっています。 次世代リソグラフィ装置では、コンデンサーやプロジェクターミラーとして欠かせないミラーです。 EUVリソグラフィに加えて、多層干渉ミラーは、X 線測定装置、放射光オプティクス、その他の高度な科学用途にも使用できます。 多種多様な複雑な基板により、NESSYは新しいアプリケーションやコンポーネントの開発に最適です。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。