PECVD貯蔵マシン DLC

ダイヤモンド カーボン塗装用真空光電子工学用

LEYBOLD OPTICS DLCは高真空プラズマ強化化学気相蒸着（PECVD）システムであり、主に熱イメージングシステム用の赤外線（IR）アプリケーションで使用される反射防止（AR）コーティングを適用します。 業界のリーダーは、LEYBOLD OPTICS DLC 装置を使用して、この機械内の基板に適用される極めて硬く環境に強い光コーティングによって光学機器を損傷から保護しています。 非常に硬い層の表面を実現するシステム 設計 LEYBOLD OPTICS DLCシステムは、ゲルマニウム（Ge）およびシリコン（Si）基板上の赤外線反射防止アプリケーション向けのダイヤモンドライクハードカーボン（DLC）層コーティングの製造向けに設計されています。 非常に硬いDLC 層は露出した光学面を保護し、赤外線透過率を高めます。 層の均一性により、低照度用途での使用が可能な ガスシャワーの設計に基づき、プロセスガスは非常に均一な方法でプロセスチャンバ内に分配されます。 したがって、基板上の層膜の成長は非常に正確であり、ナイトビジョン装置、距離制御用センサ、赤外線波長の光が使用される他のアプリケーションなどの低照度用途にとって重要です。 In-situ 光学モニタリングシステムは、高い精度を提供し、 層の厚さに要求された精度とコーティングの再現性は、コーティングプロセス中に光学 DLC 膜の成長を常に制御することが不可欠です。