Leyboldの光学PylonMetは三次元部品のコーティングのための適用範囲が広く、多目的な高効率のbatch-typeマグネトロンの放出させるシステムである。
機械概念は広い応用範囲の柔軟な設定そして多目的な配置を可能にする。 これは反応を含み、non-reactiveマグネトロンは沈殿をとの補極するターゲット(IPT)を放出させる。 高度の中間周波数(MF)血しょう高められた化学気相堆積(PECVD)の源は透明な上塗りの沈殿を可能にし、高められる層に拭抵抗しなさい。 有効のを含む有効な真空のポンプ施設管理は、システムをcryo巻き、適用範囲が広いプロセスガス管理システムは、それ以上のキーエレメントである。
優秀なコーティングの多様性のための柔軟な設定
- PylonMetの柔軟な設定はそれを、アルミニウム、クロム、ステンレス鋼、銅、銀および多数を含むいろいろ放出させる材料との使用のために適したように他する。 それは2の異なった色および24時間の生産の三次元部分を作り出す。 反復性の最高レベルは一貫した質を保障する。
旋回装置タイプ正面玄関および容易なアクセスのおかげで高い生産性および信頼性の
-旋回装置タイプ正面玄関は非常に生産的な処理およびローディングまたは順序の荷を下を可能にする。 基質は容易にアクセスのパイロンに、または惑星基質据え付け品システムに任意に、荷を積まれる。
自動ローディングおよび荷を下す選択はシステムの高い信頼性のキーファクタである。
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