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スクリュー真空ポンプ COBRA BC 0101 G乾式水エンジン用
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特徴
- 技術
- スクリュー
- 潤滑
- 乾式
- 応用
- 水, エンジン用
- その他の特徴
- コンパクト
- 到達真空度
0.01 mbar
(0 psi)- 流量
90 m³/h
(3,178.32 ft³/h)- 出力
0.7 kW, 1.5 kW
(0.95 hp, 2.04 hp)- 長さ
520 mm
(20 in)- 幅
300 mm
(11.81 in)- 高さ
340 mm
(13.39 in)- 騒音レベル
58 dB
- 重量
117 kg
(257.94 lb)
詳細
軽～中負荷の半導体用途向けに理想的なソリューション
高い性能
高度なスクリュー設計、ベル型の構造、特許取得のセルフバランシングスクリュー、優れた運転品質、ロードロック、トランスファーチャンバー、メトロロジー、リソグラフィー、PVD、ラピッドサーマルプロセスに最適
高効率性
インテリジェントな可変速ドライブ、所有コストの低さ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム、直接水冷方式
コンパクト
設置場所を選ばない設計、直結のキャンドモーター、コントロールパネル搭載
カタログ
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この販売者が参加する展示会
Hyvolution 2025
28-30 1月 2025 paris (フランス) ブース 4S27
