チャンバー炉 HTMA series

熱処理ガス不活性ガス

HTMA シリーズは、不活性ガス雰囲気で使用できる高温オーブンです。 パージ用とプロセス用に独立した流量コントロールにより、効率的かつ細かなガス雰囲気の調整が可能です。また、ガス流量は手動バルブ、またはオプションのプログラム型自動コントロール装置を選択することが可能です。　庫内の酸素レベルを 50 ppmまで下げることが可能です。 標準仕様 標準仕様の温調器は、PID制御301型です。設定温度、昇温速度、設定温度での維持時間を調整することが可能です。 背面設置ファンと側面の層流ガイドにより水平のガスフローを実現します。 完全溶接庫内によるガス雰囲気の実現 手動ガス流量調整用ニードルバルブと流量計（ニッケル真鍮合金製） 耐食性ステンレス製棚等の内装 ステンレス製配管、ニッケル真鍮製流量計と電磁弁 片開きドアは、金属製熱シールと樹脂製ガスシール、そしてレバーハンドルによって確実に閉めることが可能です。 丈夫な亜鉛引きの、エポキシ・ポリエステルで被覆した外部 ガス接続口：外径10 mmのチューブに適合するコンプレッションフィッティング（最大供給ガス圧= 2 bar） ドアスイッチ オプション （注文時に御指定ください） 自動ガス流量コントローラー (必須条件：　3508シリーズ温調器選択) マルチセグメントの温度プロファイル設定が可能な温調器やデーター計測器の選択が可能です。これらは、RS232・RS485・イーサーネットによる通信が可能です。 ステンレス製流量計と電磁弁　（標準仕様のニッケル真鍮製からの変更） 固定、またはキャスター付き床置きスタンド 流量異常アラーム ガス出口にセンサを搭載して酸素レベル（ppm、％）をモニタリングすることが出来ます。このオプションはNanodacオプションと共に選択することが必要です。