GLOアニーリング炉の特徴は、対称的に配置されたヒーティングエレメントを有する気密性レトルトにあります。ヒーティングエレメントはAPMとして知られるCrFeAlであり、セラミックファイバー断熱材に埋め込まれています。
GLOは加熱に先立って酸素濃度を低下させるため、多くの場合真空システムを装備します。可能な限りのコンタミレベルの低減を目的に、数回に渡り真空引きと窒素パージのサイクルを繰り返すことで、レトルト内の純粋な雰囲気が生み出されます。真空引きを用いることで、単純に窒素ガスを流入させてことより、より高純度で高速に純粋な雰囲気を作ることが出来ます。酸素濃度が十分低下した後、やや陽圧にしたレトルト内で、不活性ガス下の熱処理が行われます。
GLOにおける雰囲気中の熱処理の最高温度は1100℃です。ご要望により、円筒形のレトルトの前面ドアにおいても加熱が可能です。水冷式の前面ドアから、GLO内部にガスパージが行われます。前面から導入される輻射熱シールドにおいてガスは予熱されます。GLOにはプロセス中に発生したガス状の副産物を排出するための背面ポートがあります。
GLOはマニュアル、もしくは自動制御による使用が可能です。炉のサイズは、5, 10(モバイルバージョン)、40、75、120、260、400、550、600、850、950、1300Lがあります。レトルトは耐熱性合金(1.4841)から成り、ご要望により他の素材でも作製できます。
アニーリング炉は安全システムを搭載することで水素ガスのような反応性ガスを使用することもできます。水素ガス安全システムは異常を検出した際に内部を窒素ガスによりパージする緊急タンクと自動制御システムを含みます。すべての装置はSIL2認証品です。
GLOはコンパクト、省スペースデザインです。脱脂パッケージは脱脂と熱分解プロセスを提供します。多量のガス状物質の発生を伴うプロセスにおいても、加熱排気管とアフターバーナが装備されたユニットでは結露は一切発生しません。
GLOは強制冷却システムを装備することができ、レトルトの外側から空冷、もしくは冷たい不活性ガスのパージにより冷却されます。
GLOには2つのバージョンがあります。
垂直VGLOは縦からサンプルを導入するため、コンパクトで省スペースです。
モバイルGLOは異なる用途でも柔軟に対応できる省スペースで持ち運び可能なバージョンです。