3Dスキャナ

測定用白色光

製品情報 * - マイクロデプス3Dスキャナ * - 高速・非接触計測 * - 表面解析 * - 非透明・透明 アプリケーション * タッチパネル / ソーラーパネル / ウェハー * - マイクロ・エレクトロ・メカニカル(MEMS) * - 高密度回路用プリント基板 * - ICパッケージ * - 微細構造輪郭、寸法、ホールDCpth、欠陥膜厚、視差、角度、粗さ、平坦度など多彩な測定機能。 -動作原理 白色光は短い調光である。 最良の干渉縞のみを生成 フォーカス位置において、ピンぼけや迷光による干渉を排除し、最良の干渉縞の位置を「高速表面型CCDカメラ」で記録します。ポイント・バイ・ポイントのスキャンは不要で、対物レンズを移動させて高さ位置を記録する「バーティカルスキャナー」を使用することで、測定対象物の3次元表面形状を再現することができます。