水用加熱器 PUR-X 1000

空気持続循環式防爆

APPLICATIONS: 半導体ウエハ洗浄（ウェットベンチ）プロセス フォトレジスト除去溶剤の加熱 ウェーハリンス用純水加熱 ウェーハ乾燥用の空気、窒素の加熱 酸、IPA、Piranha、NMPなどの加熱 シングルパスまたは循環システムで使用可能 特徴と利点 流体経路が発熱体に接触しない メディアはPFA（テフロン®）製のフローチューブに隔離されている（高純度加熱 危険な液体や気体の安全な加熱を可能にする フローチューブは、多くの腐食性溶剤にも使用可能 フローティングチューブは現場で交換可能（サービスコール不要 標準的な制御（PID、PLC、マルチループなど）に対応 本体はテフロン®コーティングされており、最高のクリーン度を実現 セルフドレイン式のフローチューブと長寿命の発熱体を採用 仕様となっています。 電源 1.合計5kW～合計4.5kW 電圧レンジ120 - 415 V 最大ライン電流： 30 A/回路 チュービング 外径：0.375インチ（3/8インチ）（9.52mm .031"ウォール（0.80 mm プロセスチューブ全体の長さ：190" (4826 mm) PFA（パーフルオロアルコキシ）／テフロン®（標準 高純度PFA（アップグレードオプション 最大圧力： 4.82 bar (70 psi) ボディ アルミニウム（ブラックテフロン®保護膜付き エンクロージャー NEMA 7（防爆）対応 最高使用温度。 200°C (392°F) センサー KまたはJタイプの熱電対を標準装備（数量3 プロセスコントロール用1個 ハイリミット保護用1個 チューブ温度保護用に1個 利用可能なアクセサリー 絶縁ジャケット ストレートユニオンフィッティング